SEMI S2 Evaluation
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SEMI의 개요 및 목적
1) 반도체 장비인 제조장비, 측정기, Test 장비, 조립장비의 환경, 건강, 안전(EH&S)을 실행하는데 있다.
2) 1970년 IIO(International Industrial Organization)에 의해 시작
3) IBM, TI, Motorola, INTEL등 반도체 업체가 제조한 장비구입 시 장비의 안전을 위하여 평가서 요구
4) Flammable Gas, Toxic Gas, Explosive Gas, Toxic Chemical, Corrosive Chemical등을 사용하는 반도체 장비의 제작 및 설치의 Standard.
5) 결론적으로 점차 EH&S(환경, 건강, 안전)가 강조됨에 있어 SEMI 위원회에서는 최신 Version SEMI S2를 출판하여 반도체 장비에 제작, 설계 및 Test를
요구한다.
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SEMI S2
1) SEMI S2은 American National Standards (ANSI)를 적용
2) End user의 요구사항
3) Marketing시 필요
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관련 standard
1) OSHA, ANSI, NFPA and CFR Standards, IEC, ISO
2) Machinery Directive(98/37/EC)
3) SEMI S2
4) SEMI S8
5) NFPA 79
6) EN60204-1
7) SEMI S1 - 시각 위험 정보를 위한 안전 지침
8) SEMI S2 - 반도체 제조 장비를 위한 환경, 건강 및 안전 지침
9) SEMI S3 - 가열된 화학 액체 탱크를 위한 안전 지침
10) SEMI S6 - 통풍을 위한 안전 지침
11) SEMI S7 - 반도체 제조 장비의 환경, 건강 및 안전(EHS) 평가를 위한 안전 지침
12) SEMI S8 - 반도체 제조장비의 인간 공학적 측면의 안전 지침
13) SEMI S9 - 반도체 제조장비를 위한 전기적 시험 방법
14) SEMI S10 - 위험 평가를 위한 안전 지침
15) SEMI S12 - 장비 오염 제거를 위한 지침
16) SEMI S13 - 반도체 제조장비와 함께 사용하는 작동 및 관리 매뉴얼을 위한 안전지침
17) SEMI F6 - 설비 인터페이스 사양 지침 및 포맷
18) SEMI F5 - 가스 상태의 방출물(effluent)취급을 위한 지침
19) SEMI F14 - 가스 공급 장치(gas source equipment) 인클로저의 설계를 위한 지침
20) SEMI F15 - Sulfer Hexafluoride(SF6) 추적 가스 및 가스 크로마토그래피
(Gas Chromatography)를 사용한 인클로저 시험 방법
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SEMI S2 Evaluation Report
1)목적 19)지진으로부터의 보호 2)범위 20)자동재료 취급기 3)한계 21)환경적 고려 4)참고표준 22)배기 및 통풍 5)용어 23)화학물질 6)안전 24)이온화 방사선 7)일반조항 25)비 이온화 방사선 및 지역 8)평가과정 26)레이져 9)사용자에게 제공되는 문서 27)소음수치 10)위험 경고 표시 28)관련문서 .Appendix 1 - 인클로저 개구부. .Appendix 2 - 장비의 통풍 및 배기의 평가를 위한 설계원칙
및 시험 방법..Appendix 3 - 액체 상태의 화학 물질을 사용 하는 장비를 위한
설계 지침..Appendix 4 - 이온화 방사선 시험의 검증. .Appendix 5 - 비 이온화 방사선(레이저 제외)및 지역 시험의
검증..Appendix 6 - 방폭 : 구조 재료의 선택을위한 흐름도. 11)안전 연동 시스템 12)비상차단 13)전기적 설계 14)방폭 15)가열된 화학 액체탱크 16)인간공학 및 인적요소 17)위험에너지의 격리 18)기계적 설계 -
Technical Documentation(필요서류)
1) Maintenance Manual
2) Operation Manual
3) Machinery Drawing
4) Electric Drawing
5) Commercial Item List
6) Seismic Design Data
7) Material Safety Data Sheets
8) Exhaust Ventilation test등 test 서류
9) 기타 -
SEMI S2 인증절차
1) Technical Meeting & Seminar
2) System Pre-check & 구조검토 및 변경
3) SEMI S2 Standard에 준한 설계 및 제작 착수
4) Technical Documentation (기술문서) 작성
5) Test 장비 완료
6) Test 장비에 대한 SEMI S2 Standard에 준한 장비 Test
7) 인증기관의 Test 및 평가서 작성
8) SEMI S2 Evaluation Report 발행
