SEMI S2 Evaluation 실적

NO	업체	Item	Remark
1	(주)케이.씨.텍	Gas Cabinet
		Tube Washer
2	한국파이오닉스(주)	Purifier
		Dry Scrubber
3	피에스케이테크(주)	Ultima-Ⅲ Stripper M/C
4	고려반도체장비(주)	Auto Laser Marking Handler
5	한국엠에이티(주)	Gas Scrubber
6	(주)이오테크닉스	Laser Marker
7	(주)실리콘테크	O.E.B.R(single, double)
		Chemical Supply System
		P.R Remote Cabinet
		Track System
8	(주)영인테크	Heating Jacket System
9	(주)아토	Gas Cabinet
		Burn &Wet Scrubber
		Purifier
		V.M.B
		Dry Scrubber
10	(주)셀라이트	Total Impurity Measurement System (TIMS)
11	화인반도체기술(주)	Single Type Chiller
		Double Type Chiller
12	(주)코삼	Chiller
		T.H.C
13	한국DNS(주)	Ceria Slurry Supply System
		Spin Wet Processor
14	엠에이티(주)	Burn &Wet Scrubber
		403 Wet Scrubber
		Adsorption Scrubber
		MAT Scrubber
15	(주)에이티엠아이코리아	Thermal Wet Scrubber
		Dry Scrubber
16	에이펫(주)	Dryer System
17	플러스테크(주)	Ceria Slurry Supply System
18	(주)글로벌스탠다드테코놀로지	Adsorption Scrubber
19	(주)유진테크	CVD System
20	뉴영엠테크	Rapid Thermal Anneal
21	세미안테크놀로지	Burn &Wet Scrubber
22	씨티엔지니어링(주)	Vertical LPCVD System
23	(주)테스트포스	Wafer Burn-in Tester System
24	(주)엘오티베큠	Vacuum Pump
25	(주)피에스티	Furnance
26	(주)하이닉스	Mattson RTP
27	테스텍(주)	FOCUS2000
28	(주)씨싸이언스	Bevel Etcher
29	(주)유진테크	CVD (for 300mm, 200mm Wafer)
30	(주)에프에스티	Heat Exchanger, Chiller
31	APET	Rinse &Dryer
32	시그마솔루션	CVD
33	CND Plus	Track System, Chemical Supply